制备条件对ScYSZ薄膜形貌的影响及其生长模型

李韫琪; 李成新; 李智; 刘涛

doi:10.3969/j.issn.1002-087X.2023.05.009

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电源技术 ›› 2023, Vol. 47 ›› Issue (5) : 601-605. DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2023.05.009

研究与设计：化学电源

制备条件对ScYSZ薄膜形貌的影响及其生长模型

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Effects of preparation conditions on morphology and growth model of ScYSZ thin films

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收稿日期	出版日期
2022-11-13	2023-05-20
发布日期
2024-10-11

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