基于XRD的渐变缓冲结构中的应力分析与模拟计算

马长金; 郭宏亮; 万荣华; 张宝; 高伟

doi:10.3969/j.issn.1002-087X.2025.03.026

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电源技术 ›› 2025, Vol. 49 ›› Issue (3) : 657-661. DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2025.03.026

研究与设计:物理电源

基于XRD的渐变缓冲结构中的应力分析与模拟计算

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XRD strain analysis and calculation in graded buffer layers

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收稿日期	出版日期
2024-10-09	2025-03-20
发布日期
2025-03-24

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