管式PECVD工艺对组件PID的影响研究

管式PECVD工艺对组件PID的影响研究

李景, 王贵梅, 王玉肖, 刘苗, 许志卫

Research on influence of tubular PECVD process on PID of module

LI Jing, WANG Guimei, WANG Yuxiao, LIU Miao, XU Zhiwei

电源技术 . 2021, (8): 1034 -1035 . DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2021.08.020