基于XRD的渐变缓冲结构中的应力分析与模拟计算

基于XRD的渐变缓冲结构中的应力分析与模拟计算

马长金, 郭宏亮, 万荣华, 张宝, 高伟

XRD strain analysis and calculation in graded buffer layers

MA Changjin, GUO Hongliang, WAN Ronghua, ZHANG Bao, GAO Wei

电源技术 . 2025, (3): 657 -661 . DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2025.03.026