制备条件对ScYSZ薄膜形貌的影响及其生长模型

李韫琪, 李成新, 李智, 刘涛

Effects of preparation conditions on morphology and growth model of ScYSZ thin films

LI Yunqi, LI Chengxin, LI Zhi, LIU Tao

电源技术 . 2023, (5): 601 -605 . DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2023.05.009